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SEMI S30 - 半導体の研究開発および製造プロセスにおける高エネルギー材料の使用に関する安全ガイドライン -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
E この規格は、2021 年 4 月に編集上、次のように修正されました。 注76と注77を追加。
注意: への準拠 この安全ガイドラインの「べき」規定は、宣言するために必要です。 この文書に準拠していること。 「かもしれない」、「提案される」、「推奨される」、 「推奨」、「注意」、または「関連情報」の規定は必要ありません。 適合を宣言します。
この安全ガイドラインは、最小限の安全ガイドラインとして意図されています。 エネルギー資源の調達、保管、取り扱い、使用に関する安全基準 半導体の研究開発および製造プロセスのあらゆる段階における材料 プロセスケミカルの供給から除害まで使用します。
これ 安全ガイドラインは、その時点での業界のベストプラクティスを目的としています。 出版日。
この文書の範囲は、次のようなエネルギー物質です。 ¶で定義
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