S02500 - SEMI S25 - 過酸化水素の保管および取り扱いシステムの安全ガイドライン

SEMI S25 - 過酸化水素の保管および取り扱いシステムの安全ガイドライン -

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Volume(s): Safety Guidelines
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI S25-0319 - Inactive

リビジョン

Abstract

この安全ガイドラインの目的は、半導体およびフラットパネルディスプレイ産業における過酸化水素の保管および取り扱いのための機器およびシステムに適用される最低限の安全および健康基準を定めることです。

　

この安全ガイドラインは、半導体および FPD 産業で一般的に使用される過酸化水素 (H 2 O 2 ) の濃度 (つまり、40% w/w 未満の濃度) に対処しています。

　

この安全ガイドラインは、半導体またはフラット パネル ディスプレイ施設内での過酸化水素の保管、取り扱い、移送、および配布に焦点を当てています。

　

この安全ガイドラインには次のセクションが含まれています。

  • 目的 (§ 1)

  • 範囲 (§ 2)

  • 制限事項 (§ 3)

  • 参照された規格および文書 (§ 4)

  • 用語 (§ 5)

  • 安全哲学 (§ 6)

  • 一般原則 (§ 7)

  • 教育と訓練 (§ 8)

  • 緊急対応 (§ 9)

  • 材料、コンポーネントおよび構造 (§ 10)

  • 保管 (§ 11)

  • 操作 (§ 12)

  • 配電システムおよびモジュール/補助機器 (§ 13)

　

参照されるSEMI規格

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン

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