
SEMI T8 - 二次元マトリックスコードシンボルによるガラスフラットパネルディスプレイ基板のマーキング仕様 -
Abstract
この仕様は、マーキングを提供することを目的としています。 ガラス フラット パネル ディスプレイ (FPD) 基板のマークに使用できるシンボル のエッジ除外領域の固定品質領域 (FQA) 内 基板。
この仕様は、幾何学的および空間的なものを定義します。 の関係と内容 (エラー チェックと修正コードを含む) 長方形の 2 次元 (2D)、機械可読、バイナリ データ マトリックス ガラス製 FPD 基板の表面または裏面マーキングのシンボル (「マザーガラス」基板と呼ばれることもあります) エッジに適合します SEMI D12の仕様。英数字と組み合わせて使用することもできます。 SEMI M12およびSEMI M13で指定されたマーキングコード。
この仕様書ではマーキングを指定していませんが、 その要件に準拠する際に使用される可能性のある技術、それは シンボルは個々のドットをレーザーでスクライビングすることによって得られると想定されています。あ 米国ディスプレイコンソーシアムが実施した生存可能性実験で判明 そのようなマークが適しています。
データ マトリックス シンボルは広範囲の FPD に適用可能 バージン基板、加工およびパターン化された基板、パネルを含む製品 アセンブリ、ディスプレイなど。アプリケーション ノートではデータのアプリケーションについて説明します。 マルチパネル内に含まれる個々のパネル セクションへのマトリックス シンボル マザーガラス基板。このコードの形式とアルゴリズムは以下に基づいています。 ISO/IEC 16022 で指定された 2 次元シンボル。
参照SEMI規格(別途購入)
SEMI D12 — フラットパネルのエッジ状態の仕様 ディスプレイ(FPD)基板
SEMI M12 — シリアル英数字マーキングの仕様 ウェーハの表面
SEMI M13 — の英数字マーキングの仕様 シリコンウェーハ
改訂履歴
SEMI T8-1110 (再承認 0322)
SEMI T8-1110 (再承認 0216)
SEMI T8-1110 (技術改訂版)
SEMI T8-0698E (再承認 1104)
SEMI T8-0698E (編集改訂版)
SEMI T8-0698 (初公開)
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