SEMI S21 - 作業者の保護のための安全ガイドライン -

Abstract

この安全ガイドラインは、環境・健康・安全グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 2 月 1 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2003 年 10 月に出版されました。以前は 2012 年 6 月に出版されました。

この安全ガイドラインは、半導体または FPD の製造に使用される装置上またはその周囲で作業を行う人を安全および健康上の危険から保護するための推奨方法を特定します。

この安全ガイドラインでは、危険なエネルギー、物理的危険、または危険な化学物質など、作業場で作業者が遭遇する可能性のある危険から保護する方法について説明します。

この安全ガイドラインは、半導体または FPD 製造に使用される装置上またはその周囲で作業するすべての人を保護するための考慮事項を推奨することを目的としています。

この安全ガイドラインは、半導体または FPD の製造、装置およびプロセスの開発活動に関連する活動を含む、装置のサプライヤーおよび装置のユーザーに適用されます。

SEMI F34 — 液体化学パイプのラベル貼付ガイド
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S19 — 半導体製造装置の設置、保守、およびサービス担当者のトレーニングに関する安全ガイドライン
SEMI S24 — 複数の雇用主がいる作業エリアの安全ガイドライン

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