SEMI S12 - 製造装置の汚染除去に関する環境、健康、安全に関するガイドライン -

Abstract

この規格は、世界的な環境・健康・安全委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1998 年に出版されました。以前は 2011 年 2 月に出版されました。

E この規格は、句読点の誤りを修正するために 2015 年 11 月に編集上修正されました。タイトルを変更しました。

この文書は、危険物質にさらされた、またはさらされた可能性があり、さらなる生産的使用を目的とした製造装置 (ME) および部品を除染するためのガイダンスを確立します。さらなる生産的な使用を目的とした機器には、再利用、再販、修理、改修、または移転のために提供される機器が含まれます。

この安全ガイドラインは、地方、州、国家、国際的な規制および組織のポリシーを適切に考慮して、各サイトで採用される必要があります。

この安全ガイドラインは、個々の状況で存在する可能性のある実際的な制限を認識しながら、輸送前の汚染除去が可能な限り確実に行われるようにするために使用することを目的としています。多くの場合、完全な化学的汚染除去は、ME の破壊なしには達成できないことが認識されています。 ME の譲渡者は、既知の残りの潜在的な危険がすべて譲受人に明確に識別されるようにする必要があります。

この安全ガイドラインは、有害物質にさらされた、またはさらされた可能性があり、人間の健康や環境に脅威を与える可能性がある ME および部品の除染と取り扱いに適用されます。取り扱い作業には、輸送前の停止、解体、撤去、ラベル貼り付け、梱包が含まれます。

この安全ガイドラインでは、除染および除染に関連する残留危険の文書化に関する最低限の基準について説明します。

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン

SEMI S16 — 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド

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