SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

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F08900 - SEMI F89 - 1.5 インチ タイプ表面実装ガス分配システム用のコンパクト サイズ マスフロー コントローラおよびマスフロー メータの寸法の仕様
SEMI F89 - 1.5 インチ タイプ表面実装ガス分配システム用のコンパクト サイズ マスフロー コントローラおよびマスフロー メータの寸法の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S02900 - SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド
SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブと共に使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブと共に使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 通常価格¥59,400 JPY セール価格¥38,100 JPY
F01000 - SEMI F10 - フルオロカーボン材料で作られたチューブ継手接続部の故障を引き起こすために必要な内圧を決定するための試験方法
SEMI F10 - フルオロカーボン材料で作られたチューブ継手接続部の故障を引き起こすために必要な内圧を決定するための試験方法 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
F08700 - SEMI F87 - 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様
SEMI F87 - 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F00800 - SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法
SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F01400 - SEMI F14 - ガス源機器エンクロージャの設計ガイド
SEMI F14 - ガス源機器エンクロージャの設計ガイド 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
F00900 - SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブ推奨接合部の漏洩特性を測定する試験方法
SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブ推奨接合部の漏洩特性を測定する試験方法 通常価格¥59,400 JPY セール価格¥38,100 JPY
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法 通常価格¥59,400 JPY セール価格¥38,100 JPY
F08800 - SEMI F88 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用標準サイズマスフロースレッド／マスフローメータの寸法のための仕様
SEMI F88 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用標準サイズマスフロースレッド／マスフローメータの寸法のための仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E08100 - SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F07100 - SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクルの試験方法
SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクルの試験方法 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,900 JPY
E06200 - SEMI E62 - 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI E62 - 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E03400 - SEMI E34 - マスフローデバイスの取り外しおよび輸送に関する安全ガイドライン
SEMI E34 - マスフローデバイスの取り外しおよび輸送に関する安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E10000 - SEMI E100 - 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様
SEMI E100 - 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12400 - SEMI E124 - 工場全体効率 (OFE) およびその他の関連する工場レベルの生産性指標の定義と計算に関するガイド
SEMI E124 - 工場全体効率 (OFE) およびその他の関連する工場レベルの生産性指標の定義と計算に関するガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05409 - SEMI E54.9 - Modbus/TCP over TCP/IP のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様
SEMI E54.9 - Modbus/TCP over TCP/IP のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E00109 - SEMI E1.9 - 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E1.9 - 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様
SEMI E64 - SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E10400 - SEMI E104 - 低圧粒子モニターの統合仕様および校正ガイドライン
SEMI E104 - 低圧粒子モニターの統合仕様および校正ガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
P02200 - SEMI P22 - フォトマスクの欠陥分類とサイズ定義のガイドライン
SEMI P22 - フォトマスクの欠陥分類とサイズ定義のガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14600 - SEMI E146 - シリコンウェーハの保管および輸送に使用される微小環境からの粒子汚染を測定するための試験方法
SEMI E146 - シリコンウェーハの保管および輸送に使用される微小環境からの粒子汚染を測定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04800 - SEMI E48 - SMIF インデクサーのボリューム要件の仕様
SEMI E48 - SMIF インデクサーのボリューム要件の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E16200 - SEMI E162 - 450mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインターフェースの仕様
SEMI E162 - 450mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインターフェースの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
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