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SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブ推奨接合部の漏洩特性を測定する試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。
免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この方法は，サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン材質でできたチューブ接合部の漏洩特性を測定するための手順を規定するものである。
この方法は，ここに優先されている条件のもとに作成された試験データに基づいて，チューブのための接合部の特性を当然に使用することができる。
この方法において定義されるチューブは、管状の形状をしており、フロロカーボン材質でできている。
この方法において定義されるチューブのうち内部の液体と接触する全ての部分は，フロロカーボン材質でできている。
ナット，グリッパ等のような部分は，フロロカーボン材質で作成されなくても大丈夫。
チューブと評価されているチューブの間のシールのみ， 本書の範囲内である。
時々のチューブ規定間又は製造者間における比較のためにこの方法を使用する場合には，ユーザは評価されるべきチューブ及びチューブを明確に選択しなければない。
このドキュメントにおける計量の標準単位としては，国際単位系（SI ）が使用される。
参照されるSEMI規格なし。
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