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SEMI E64 - SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。非活性 規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き有効です 使用するために。
この仕様は、SEMI 上の標準的な場所を定義します。 ドッキングの取り付けに使用する E15.1 準拠のツールと要件 キャリア輸送カート用のインターフェース。一貫した取り組みを促進することを目的としています。 キャリア輸送カートとSEMI E15.1準拠の間のインターフェースの位置 ウェーハプロセスまたは検査装置。
この規格は 300 mm SEMI E15.1 準拠のツールを対象としています それだけ。他のツールに対する同様の要件は、ここでは定義されていません。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
改訂履歴
SEMI E64-1105 (再承認 0512)
SEMI E64-1105 (技術改訂)
SEMI E64-0600 (再承認0305)
SEMI E64-0600 (技術改訂)
SEMI E64-0698 (技術改訂)
SEMI E64-0298 (技術改訂)
SEMI E64-0997 (初公開)
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