SEMI E54.9 - Modbus/TCP over TCP/IP のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2008 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2008 年 7 月に www.semi.org で入手可能です。初版発行は 2000 年 2 月。以前は 2006 年 7 月に出版されました。

注意: この文書は、SEMI E54 規格スイートとともに発行されなくなりました。別売りで発行・販売しております。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この規格は、SEMI 指定のデバイス モデルに従って動作するセンサー/アクチュエータ ネットワーク (SAN) 上のインテリジェント デバイス間の通信を可能にする、伝送制御プロトコル/インターネット プロトコル (TCP/IP) ネットワーク上の Modbus/TCP プロトコルに基づく通信仕様を定義します。半導体製造ツールの（共通およびデバイス固有）。

Modbus/TCP over TCP/IP は、制御レベルの産業用デバイス (センサーやアクチュエーターなど) とコントローラーなどの上位レベルのデバイス間でデータを交換する、シンプル、安価、高速な手段を提供するコンポーネント レベルのネットワークです。 Modbus/TCP over TCP/IP は以下を提供します。

• 低レベルのデバイス ネットワーキングのソリューション。

• 低レベルのデバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス、

• 上位レベルのコントローラ間のネットワーク、および

• マスター/スレーブおよびピアツーピア通信機能。

Modbus/TCP は通信モデルとプロトコルを指定します。物理層、データリンク層、およびネットワーク層の定義は、TCP/IP イーサネットなどの Modbus/TCP プロトコルが組み込まれているネットワークによって定義されます。

この文書は、共通および特定のデバイス ネットワークの可視構造と動作のプレゼンテーション マッピングを TCP/IP ネットワーク上の Modbus/TCP に提供することにより、SEMI 準拠の SAN 上のインテリジェント デバイス間の通信を可能にします。

この文書は、この半導体装置のセンサー/アクチュエーター ネットワーク上で情報を交換するために、準拠したインテリジェント デバイスがサポートする必要があるプロトコルとサービスを指定します。

この文書は、TCP/IP ネットワーク上の Modbus/TCP プロトコルの共通デバイス モデル (CDM) および適切な特定デバイス モデル (SDM) で指定された、外部から見えるデバイスの構造と動作を提示するための Modbus/TCP プロトコルの利用法を規定します。 。

この文書は、SEMI 標準 SAN 共通デバイス モデル仕様、1 つ以上の SEMI 標準固有デバイス モデル (SDM) 仕様 (質量流量デバイスなど)、Modicon Modbus プロトコル リファレンス ガイド、および Open Modbus/TCP と組み合わせて使用​​されます。仕様。これらは、Modbus/TCP プロトコル、SEMI 準拠の SAN システムで Modbus/TCP ネットワーキング機能を利用するデバイスの外部から見えるデータ構造と動作について説明します。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス (OSS)
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In-Situ粒子モニターデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスの仕様デバイスモデル
SEMI E54.18 — 真空ポンプデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様

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