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SEMI E162 - 450mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインターフェースの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されています。現版は2010年8 月27日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .org およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は、 2011 年11 月発行。
本仕様の目的は、450mm用フロントオープニング・シッピングボックス（ FOSB ）のロードおよびアンロードを行う半導体製造装置におけるロードポートの基本的な寸法のインタフェースを定義することである。なソリューションを限定するネクストロードポートとキャリアの相互運用性を確保するための継続的な要求および機能を定義するものである。
本書のインターフェース仕様は，関連するSEMI450mm FOSB標準に準拠するキャリアによって決定，また，キャリアに適合するように作成されています。
ロードおよびアンロードは、いくつかのシステムまたは装置（人が運転搬送する車や高架ホイスト車など）を使って半自動および自動モードで行われることを想定している。
参照されるSEMI規格SEMI E154 ― 450 mm ロードポートのメカニカルインターフェース仕様
SEMI M80 — 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械仕様
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