SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

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E04500 - SEMI E45 - 気相分解－全反射Ｘ線分光法 (VPD/TXRF)、気相分解－原子吸収分光法(VPD/AAS)、気相分解－誘導結合プラズマ質量分光法 (VPD/ICP- MS)を使用したミニエンバイロメントからの無機汚染分析のための試験方法
SEMI E45 - 気相分解－全反射Ｘ線分光法 (VPD/TXRF)、気相分解－原子吸収分光法(VPD/AAS)、気相分解－誘導結合プラズマ質量分光法 (VPD/ICP- MS)を使用したミニエンバイロメントからの無機汚染分析のための試験方法 セール価格Member Price: ¥135
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E03200 - SEMI E32 - 物質移動管理 (MMM)
SEMI E32 - 物質移動管理 (MMM) セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法
SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E02300 - SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインターフェースのための仕様
SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインターフェースのための仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E14100 - SEMI E141 - 統合計測学で使用するエリプソメータ装置の仕様ガイド
SEMI E141 - 統合計測学で使用するエリプソメータ装置の仕様ガイド セール価格Member Price: ¥113
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E05300 - SEMI E53 - イベントレポート
SEMI E53 - イベントレポート セール価格Member Price: ¥113
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P02900 - SEMI P29 - 減衰位相シフトマスクおよびマスクブランクに特有の特性の仕様
SEMI P29 - 減衰位相シフトマスクおよびマスクブランクに特有の特性の仕様 セール価格Member Price: ¥113
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E14400 - SEMI E144 - 半導体製造およびマテリアルハンドリング機器におけるキャリアのRFIDタグとRFIDリーダー間のRFエアインターフェースの仕様
SEMI E144 - 半導体製造およびマテリアルハンドリング機器におけるキャリアのRFIDタグとRFIDリーダー間のRFエアインターフェースの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E13100 - SEMI E131 - ボルト M を使用した 300 mm ツールへの統合測定モジュール (IMM) の物理インターフェイスの仕様
SEMI E131 - ボルト M を使用した 300 mm ツールへの統合測定モジュール (IMM) の物理インターフェイスの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E11000 - SEMI E110 - 300 mm ロード ポートのロード ポート操作インターフェイスのインジケータ配置ゾーンとスイッチ配置ボリュームのガイドライン
SEMI E110 - 300 mm ロード ポートのロード ポート操作インターフェイスのインジケータ配置ゾーンとスイッチ配置ボリュームのガイドライン セール価格Member Price: ¥113
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E10200 - SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・フォールトコンポーネントに関する暫定仕様
SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・フォールトコンポーネントに関する暫定仕様 セール価格Member Price: ¥135
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E11800 - SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能基本: 概念，動作，サービス
SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能基本: 概念，動作，サービス セール価格Member Price: ¥135
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E10500 - SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様
SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念、挙動、サービス（IMMC）
SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念、挙動、サービス（IMMC） セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E05800 - SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関する基準（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス
SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関する基準（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス セール価格Member Price: ¥135
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E14700 - SEMI E147 - 装置データ取得（EDA）のためのガイド
SEMI E147 - 装置データ取得（EDA）のためのガイド セール価格Member Price: ¥135
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E10500 - SEMI E105 - CIM フレームワーク スケジューリング コンポーネントの暫定仕様
SEMI E105 - CIM フレームワーク スケジューリング コンポーネントの暫定仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E11900 - SEMI E119 - 300 mm ウェーハの工場間輸送用の縮小ピッチフロントオープンボックスの機械仕様
SEMI E119 - 300 mm ウェーハの工場間輸送用の縮小ピッチフロントオープンボックスの機械仕様 セール価格Member Price: ¥113
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E10100 - SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド
SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド セール価格Member Price: ¥135
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E01501 - SEMI E15.1 - 300 mm装置ロードポートのための仕様
SEMI E15.1 - 300 mm装置ロードポートのための仕様 セール価格Member Price: ¥135
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E16100 - SEMI E161 - トレーニング階層の識別と分類に関するガイド
SEMI E161 - トレーニング階層の識別と分類に関するガイド セール価格Member Price: ¥113
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E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様
SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様 セール価格Member Price: ¥135
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P03600 - SEMI P36 - 限界寸法測定走査型電子顕微鏡 (CD-SEM) の倍率基準ガイド
SEMI P36 - 限界寸法測定走査型電子顕微鏡 (CD-SEM) の倍率基準ガイド セール価格Member Price: ¥113
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E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分析法 (IMS) を使用した微小環境からの有機汚染の測定のための試験方法
SEMI E46 - イオン移動度分析法 (IMS) を使用した微小環境からの有機汚染の測定のための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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