SEMI E53 - イベントレポート -

Abstract

この規格は世界的な情報制御委員会によって技術的に承認されており、日本の情報制御委員会が直接責任を負っています。最新版は、2004 年 4 月 30 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2004 年 6 月に www.semi.org で入手可能でした。 2004 年 7 月に出版予定。初版発行は 1996 年 12 月。

半導体製造施設における効果的なプロセスの監視と制御には、装置内のプロセス データへのアクセスが不可欠です。この規格は、半導体装置や、セル コントローラーやレシピ サーバーなどのその他の工場オブジェクトの、データのタイムリーな収集と報告に関する通信ニーズに対応しています。この標準の目的は、機器サプライヤーが提供するイベント レポート サービスの汎用セットを提供することです。このドキュメントは、全体または一部が、より高いレベルのアプリケーション ドメインに対処する他の標準によって参照される場合があります。ここで定義される通信サービスにより、独立したシステムの標準ベースの相互運用性が可能になります。これらのサービスの存在を前提としたアプリケーション ソフトウェアの開発、およびそれらのサービスを提供するソフトウェア製品の開発を許可するものとします。

下位標準:

SEMI E53.1-0704 - イベントレポート標準の SECS-II サポート

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E38 — クラスターツールモジュール通信 (CTMC)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E39.1 — オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル
SEMI E40 — 処理管理の標準

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