SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド -

Abstract

本基準は、Global Physical Interfaces and Carriers Committee で技術的に承認されています。現版は 2010 年 4 月 30日、Global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .org で入手可能となる。 初版は2000年2 月発行、前版は2004 年11 月発行。

300mm世代の半導体工場において，生産性の向上は最優先すべき課題であり，これを実現するためにはコンピュータを組み込んだ製造技術または工場自動化（CIM/FA : Computer-Integrated Manufacturing or Factory Automation ） 低コストで短期間にCIM/FAインフラストラクチャを装備するためには、かかる技術の標準化も必要である。各基準は広範囲の生産設備、通信機器およびソフトウェア装置を網羅する必要があるため，各基準には高度の互換性を持たせることが非常に重要である。機能を向上させるため，本ガイドが，工場のマテリアルハンドリングシステムと製造装置の間のインターフェースにおいてキャリアおよび基板の搬送処理を行う装置フロントエンドモジュール（ EFEM: Equipment Front End Module ）の機能構造モデルを示す。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI E64 — SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

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