SEMI E147 - 装置データ取得（EDA）のためのガイド -

Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2006年11月21日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となりました。

E本書は2007年9月に、誤字を訂正するため、編集上修正された。変更箇所は、§6である。

このガイド文書は、一連の装置データ取得（ EDA ）SEMI基準に関する追加の情報を提供し、これら規格間の関係を説明し、EDA仕様の適切な適用を確実にするために実装の基本コンセプトを提案する。

範囲内

このガイドは、装置エンジニアリングデータを収集するためのEDAインターフェイスに関するSEMIの規定を実装する半導体製造装置に適用できることができる。

このガイドは以下についてです。

• EDAインターフェイスの概要
• EDAInterfaceを形成する標準の概要
• EDAインターフェイス標準間の関係
• EDAスタンダードの統合，実装についてのガイド

範囲外

このガイド標準は装置外のシステム中のインターフェイスについて何も記述せず、定義しません。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス

SEMI E40 — 処理管理の標準

SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様

SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様

SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様

SEMI E116 — 機器性能追跡 (EPT) の仕様

SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様

SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様

SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様

SEMI E134 — データ収集管理 (DCM) の仕様

SEMI E138 — XML 半導体共通コンポーネント

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