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SEMI P36 - 限界寸法測定走査型電子顕微鏡 (CD-SEM) の倍率基準ガイド -
Volume(s):
Microlithography
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドの目的は、(1) 限界寸法測定走査型電子顕微鏡 (CD-SEM) の倍率を校正するために使用される倍率基準の共通かつ重要な仕様を定義し、その結果として (2) 適切な倍率基準を提供することです。誰でも簡単に使えます。
CD-SEM 倍率基準の設計、製造、購入の仕様は、このガイドに準拠することが望ましいです。
参照されるSEMI規格
なし。
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