SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様 -

Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI E105-0701 - 非アクティブ

リビジョン

Abstract

本仕様は、Global Information & Control Committeeで技術的に承認されたもので、North American Information & Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2001 年2月1日に日本地区標準委員会にて承認された。 2001年4月にまずwww.semi.orgで入手可能となり2001年7月発行に続く。初版は20009月発行。

スケジューリングコンポーネントは装置上の材料の処理,材料の移動,および装置の維持管理を行うジョブの指示をタイミングよく出すことによって,ファクトリオペレーションコンポーネント,材料搬送・保管コンパイル,製造マシンコンポーネント,および装置トラッキング・メンテナンスコンポーネントをサポートする。スケジューラは製品のニーズ、装置および材料の状態、プロセスフロー、スループットのボトルネック、オペレーションポリシーおよび保留条件、その他の情報に関する知識を使って、製品のニーズを満たし計画された目標を達成するために,工場リソースを最大限効果的に利用するようなジョブを推奨する。

オペレーションに対する量制御が増加しているため,工場のイベントおよび状態変化に対応できる,材料処理,材料搬送および装置メンテナンスに関するスケジュールを動的に調整できるアクティブなスケジューリングコンポーネントが必要とされている。 は、待ち列のサイズを極力抑えて、かつ、WIPインベントリレベルを希望レベルに保ってボトルネックの装置を最大限効率よく使えるようにするために、優先順位を段階的にして、工場にある材料のインベントリレベルに反応することができる。

スケジューリングコンポーネントは装置のアイドルタイムを減らすため,(サブストレートおよび耐久材)材料搬送と処理を調整することによって使用時間( TAT )をできるだけ考慮することができる。予定された装置ダウンタイムおよび予定外の装置ダウンタイムに対応して所用時間への影響を最小限にすることもできる。 でなく、緊急ロットのプライオリティに対応するため、緊急ロットを可能な限り短い時間でプロセスフロー内を移動させ、それによって影響を受けるプライオリティの低いロットのジューリングを調整することもできる。

ランタイム時におけるスケジューリングコンポーネントの主な仕事は,リソースおよび材料の状態をモニターし,スケジューリング決定メカニズムおよびディスパッチング決定メカニズムを使って,工場リソースの次の活動を決めること(ディスパッチング)あるいは活動を決めること(スケジューリング)である。スケジューリングコンポーネントにはスケジューリングおよびディスパッチングの両方をサポートするインタフェースがある。図1にはスケジューリングコンポーネントとCIMフレームワークの他のコンポーネントとの相互作用が描かれている。にはスケジューリングコンポーネントに工場リソースの現在の状態を知らせるのに必要な多くの情報が全て記されているわけではない。

本スタンダードに記されているリスト通り、スケジューリングコンポーネントは活動オプションおよび活動予測リストを作る。そのリストは工場モデルおよび他のコンポーネントからの状態情報とスケジューリングコンポーネントのジューリングポリシーを組み合わせて作られる。コンポーネントは製品をどのように作るかということについて 仕様コンポーネントから得たデータと装置コンポーネントおよび製品管理コンポーネントから得た状態データを組み合わせて、マシンの活動オプションを提供する。

ファクトリオペレーションコンポーネントはスケジューリングコンポーネントのサービスを使ってマシンおよびロット製造管理をまとめます。例えば、ある装置が使用可能になったら、ファクトリオペレーションはオプション活動リストを使って、その装置で次に処理するロットを選ぶその後ファクトリオペレーションは他のコンポーネントと協力してマシンでそのロットの製造ジョブを実行する。 製造ジョブを実行すると他のコンポーネントの状態および装置の状態が変わる。スケジューリングコンポーネントが新しい活動リストを作る際に利用される。

スケジューリングマネジャは「この材料あるいはリソースを次にどうするのか?」といった質問に対する回答を提供してファクトリオペレーションをサポートする。ディスパッチャの出力は終了リソースの次の活動に関する決定という形が考えられますが、インターフェースは決定を下すもとになるプライオリティ付き活動リストを提供して、マニュアルでの進行もサポートできます。

スケジューリングジャマネのインターフェースは次の活動の後に予定されている活動に関する予測も提供する。予測される将来の活動の順序および実行タイミングをシミュレーションすることによって,ジュースケラは今後出される要求に対するディスパッチャの応答を予測工場条件が変わると予測も変わるが、その予測は将来の活動決定に関して、その時点で最適の予測である。

参照されるSEMI規格

SEMI E81 — CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様

SEMI E97 — CIM フレームワークのグローバル宣言と抽象インターフェイスの暫定仕様

SEMI E102 — CIMフレームワークの材料輸送および保管コンポーネントの暫定仕様

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