SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

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PV00200 - SEMI PV2 - PV 機器通信インターフェイス (PVECI) のガイド
SEMI PV2 - PV 機器通信インターフェイス (PVECI) のガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E07300 - SEMI E73 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ドライポンプ
SEMI E73 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ドライポンプ セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04200 - SEMI E42 - レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E42 - レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E14400 - SEMI E144 - 半導体製造装置および材料ハンドリング装置におけるキャリア内のRFIDタグとRFIDリーダの間の無線インターフェースの仕様
SEMI E144 - 半導体製造装置および材料ハンドリング装置におけるキャリア内のRFIDタグとRFIDリーダの間の無線インターフェースの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E05413 - SEMI E54.13 - Ethernet/IP(TM) 用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様
SEMI E54.13 - Ethernet/IP(TM) 用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク通信の仕様 セール価格 Member Price : ¥113
E01500 - SEMI E15 - ツールロードポートの仕様
SEMI E15 - ツールロードポートの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05415 - SEMI E54.15 - SafetyBUS p用センサー／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様
SEMI E54.15 - SafetyBUS p用センサー／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E04100 - SEMI E41 - 例外処理標準
SEMI E41 - 例外処理標準 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1ドッキングインターフェースポートと300mmカートの仕様
SEMI E64 - SEMI E15.1ドッキングインターフェースポートと300mmカートの仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E13900 - SEMI E139 - レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様
SEMI E139 - レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E11800 - SEMI E118 - ウェーハ ID リーダー通信インターフェースの仕様 -- ウェーハ ID リーダーの機能標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E118 - ウェーハ ID リーダー通信インターフェースの仕様 -- ウェーハ ID リーダーの機能標準: 概念、動作、およびサービス セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E12400 - SEMI E124 - 総合工場効率（OFE）およびその他の工場レベルの生産性測定基準の定義とその計算法についてのガイド
SEMI E124 - 総合工場効率（OFE）およびその他の工場レベルの生産性測定基準の定義とその計算法についてのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E16100 - SEMI E161 - トレーニングの明確化および分類に関するガイド
SEMI E161 - トレーニングの明確化および分類に関するガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E06200 - SEMI E62 - 300mmフロントオープニング・メカニカルインターフェース（FIMS）の仕様
SEMI E62 - 300mmフロントオープニング・メカニカルインターフェース（FIMS）の仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E10100 - SEMI E101 - EFEM 機能構造モデルのガイド
SEMI E101 - EFEM 機能構造モデルのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様
SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E04200 - SEMI E42 - レシピ管理スタンダード：コンセプト、挙動、およびメッセージサービス
SEMI E42 - レシピ管理スタンダード：コンセプト、挙動、およびメッセージサービス セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E10200 - SEMI E102 - CIM フレームワークの材料輸送および保管コンポーネントの暫定仕様
SEMI E102 - CIM フレームワークの材料輸送および保管コンポーネントの暫定仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
PV05500 - SEMI PV55 - 太陽光発電製造システム用機器間の水平通信のためのデータ定義仕様
SEMI PV55 - 太陽光発電製造システム用機器間の水平通信のためのデータ定義仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E11900 - SEMI E119 - 300mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT）の機械仕様
SEMI E119 - 300mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT）の機械仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E12700 - SEMI E127 - 統合測定モジュール通信の仕様: 概念、動作、およびサービス (IMMC)
SEMI E127 - 統合測定モジュール通信の仕様: 概念、動作、およびサービス (IMMC) セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
P00900 - SEMI P9 - マイクロエレクトロニクス レジストの機能試験ガイド
SEMI P9 - マイクロエレクトロニクス レジストの機能試験ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05800 - SEMI E58 - 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI E58 - 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
P02200 - SEMI P22 - フォトマスク欠陥の分類とサイズ定義についてのガイドライン
SEMI P22 - フォトマスク欠陥の分類とサイズ定義についてのガイドライン セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
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