SEMI E124 - 総合工場効率（OFE）およびその他の工場レベルの生産性測定基準の定義とその計算法についてのガイド -

Abstract

本基準は、Metrics Global Technical Committee .で技術的に承認されています。現版は2012年12 月20日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認されました。 org およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は2003年7 月発行。前版は2007 年11 月発行。

注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

このガイドは、工場が所期の能力に対して（ある製品ミックスを前提として） 実際にどの程度の効率で稼いでいるかを表わすための測定基準について述べたものである。使用すれば、工場稼動の状況を付加価値を生む生産の視点から継続的に把握することができ、有益な操業上の決定を下すことができる。また、この測定基準は、半導体生産のあらゆるレベルにおいて見られる現在進行中の改善プロセスにも使用することができる。

このガイドにおける測定基準は、すでに稼動中の工場の生産活動を相対的に評価することを目的としたものであり、新工場のデザインまたは手直しに関しての生産能力分析を目的としたものではない。 ，これらの測定基準のいくつかは、装置セットの選択や生産計画の方針を考える際の工場シミュレーションに使用することもできる。

工場の全体の効率を評価するには、最低限３項目についての測定が必要である。つまり、製造活動、資産活用、そしてコストである。資産活用とコスト（およびその他の経済的貢献）については、ここでは読まない。

このガイドでは、一体となった製造ライン全体（考えて、たとえば、製造ロットがいかに生産ラインを離れ、また戻ってくることがない）の測定基準についてのような考え。同じ工場内の複数の製造ラインがいずれのリソース（原材料取り扱いや製造装置など）を共有しているのではなく、これらのラインは個別に評価することができる。

SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する仕様
SEMI E35 — 半導体製造装置の所有コスト (COO) 指標を計算するためのガイド
SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI E79 — 機器の生産性の定義と測定に関する仕様
SEMI E116 — 機器性能追跡の仕様

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