SEMI E41 - 例外処理標準 -

Abstract

相互作用する例外の取り扱いが，工場で自動化された制御を保守する場合の障害回復能力を向上させる。この基準は，半導体製造環境における装置の例外処理においてコミュニケーションの必要性を引き上げる。

この基準は、装置の異常な状況に関する相互作用と効果的な報告の為に例外によって提供された機能を規定する。 それは、例外処理の概念、相互作用する例外処理に関連する装置の動作，提供された機能性の為に必要とされるメッセージサービスを説明する。

ここでは，独立したシステムの基準をベースとし，相互接続性を可能にするコミュニケーションサービスが定義された。開発を認めるべきものである。

自動化された例外処理の実装は、エラー回復時間を短縮させ、多くの状況に関して装置制御を自動から手動に切り替えることに代わり手助けになる。 ，要求された努力を多いに減ろう。適合性は標準サービスの明確なセットを要求する。

この標準の最新の範囲は，クラスタツールでの相互作用する例外の取り扱いである。

提供された機能が，他のマルチリソースイクイップメントに適用されている間は，すべてのデバイスタイプに工場による自動化された管理と制御に必要な柔軟性を提供しない可能性があります。のすべてのタイプの工場による，マルチリソースイクイップメントの他のタイプの例外処理に適応させる為に拡張されるであろうと予想される。

この標準は，例外により決定者に対して，アラームを含む例外条件の報告をサポートする。例外は，同様にそれぞれの例外条件の報告を可能にしたり，不可能にしたり機能を持っている。

相互作用の例外の取り扱いは、ある状況の回復動作の決定者による選択を通じてサポートされる。を許す。

この標準は，概念と動作からメッセージサービスに至るまでの解決法を提供する。

メッセージサービスは，メッセージが内容として持つデータの定義と，交換メッセージの識別を含む。この追加の情報は，メッセージプロトコルに含まれています。

特別なプロトコル（例：SECS-Ⅱ）への、例外処理サービスの検討に関する情報は、付属の標準として追加された。

サービスは、サービスのプロバイダとサービスの利用者の間で、信頼できる接続が確立されているコミュニケーション環境を想定している。接続の確立、維持、解放とコミュニケーション失敗の扱いは、この基準の範囲外である。

下位文書:

SEMI E41.1-0996 — 例外処理標準へのSECS-IIのサポート

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

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