SEMI E101 - EFEM 機能構造モデルのガイド -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

300mm世代の半導体工場では生産性の向上が最優先の課題となっており、その実現にはコンピュータ統合製造技術やファクトリーオートメーション（CIM/FA）技術の重要性がますます高まっています。 CIM/FAインフラを短期間・低コストで提供するには、これらの技術の標準化も必要です。標準は広範囲の生産設備、通信ハードウェア、およびソフトウェア ツールをカバーする必要があるため、標準に高度な互換性があることが非常に重要です。互換性を向上させるために、このガイドでは、工場のマテリアル ハンドリング システムとプロセス装置の間のインターフェイスでキャリアと基板を処理する装置フロント エンド モジュール (EFEM) の機能構造モデルを提供します。

このガイドの主な目的は次のとおりです。

1.   EFEM の機能と、機能要素 (特定の機能の役割を持つコンポーネント) 間の関連インターフェイスについての共通の理解を提供します。

2.   EFEM における関数の階層構造とそのインターフェイスについての共通の理解を提供します。

3.   保守、調整、制御に使用される可能性のある単位についての共通の理解を提供します。

4.   EFEM の機能要素と既存の標準の間のマップを提供します。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様

SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)

SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様

SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様

SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様

SEMI E64 — SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様

SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.