SEMI E58 - 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス -

Abstract

この標準は世界的な情報および制御委員会によって技術的に承認されており、北米情報および制御委員会が直接責任を負います。最新版は、2000 年 10 月 19 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 2001 年 1 月に www.semi.org で入手可能でした。 2001 年 3 月に出版予定。初版は 1997 年 6 月に出版されました。

注意: SEMI E58の指定は、SEMI E58.1の再承認を反映するために、0703発行サイクル中に更新されました。

この文書は、SEMI E10 に従って機器レベルで SEMI E10 の状態変更を実装および収集するための標準を提供します。 SEMI E10 はさまざまな用語と機器の状態を定義していますが、特に自動化機器による適用を目的として書かれたものではありません。この文書は、正式な状態モデル手法を通じて、これらの機器の状態の一貫した解釈を提供することを目的としています。 ARAMS は、半導体工場内の自動化システムの統合をサポートするための概念、動作、およびメッセージ サービスを定義します。自動化機器にSEMI E10状態の統合を実装するには、機器サプライヤー間で解釈が一貫していることを保証するために、定義と要件の統合を詳細かつ正確にする必要があります。これにより、情報を機器自体に自動的に保持する機会が提供されます。機器サプライヤーと機器ユーザーの両方が、一貫した状態モデルの適用による機器での SEMI E10 データ収集の自動化から恩恵を受けます。 SEMI E10 は特定の状態を定義していますが、状態間の遷移については扱っていません。 ARAMS 標準は、自動化された機器によって行われる状態遷移のトリガーを指定します。この文書で説明されている SEMI E10 の拡張は、自動化装置によって行われる決定にのみ適用されます。

下位標準:

SEMI E58.1-0697 (再承認 0703) - 自動化された信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS) の SECS-II プロトコル: 概念、動作、およびサービス

SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) の定義と測定に関する規格
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E38 — クラスターツールモジュール通信 (CTMC)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格
SEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E53 — イベントレポート

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