SEMI E62 - 300mmフロントオープニング・メカニカルインターフェース（FIMS）の仕様 -

Abstract

本基準は、global Physical Interfaces & Carriers Technical Committee で技術的に承認されています。現版は2011年12月24日、 global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認されました。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2006年11月発行。

注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

本基準は、プロセス装置または測定装置とフロントオープニング・ボックスとのインターフェースについて装置側の要求事項について規定する。

この標準が意図しているのは、すべてのメカニカルインタフェースに関して、モジュール性と互換性を確保しながら、技術革新を考慮せず最小レベルの仕様を決定することである。おり、材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染許容度は示されていない。との解釈でも構わない。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E47.1 — 300mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械仕様

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