SEMI E119 - 300mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT）の機械仕様 -

Abstract

本基準は、global Physical Interfaces & Carriers Technical Committee で技術的に承認されています。現版は2011年12月24日、 global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認されました。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2002年11月発行。前版は2006年7月発行。

注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

本基準は、300mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（ FOBIT:front-opening box for interfactory Transport ） について部分的に規定する。 FOUPとほぼ同じであるこの狭ピッチのボックスは、IC生産工場間のウェーハ輸送コストを低減することを目的とする。 業界の最新の300mm技術を活用するために、この狭ピッチのフロントオープニングボックスは、SEMI E62で規定されている13枚ウェーハ用のFIMSとインターフェースするものとします。

本標準が意図しているのは、すべてのメカニカルインタフェースに関して、モジュール性と互換性を確保しながら、技術革新を考慮せず最小レベルの仕様を決定することである。 ただし、金属製や射出成型プラスチック製のFOBITの両方が基準に準拠して製造できるように、本基準は作成されている。

本基準は、FOBITが工場内のウェーハ輸送に使用されることを前提としている。次の境界条件の下でこの仕様が作成された。

• ウェーハ間のピッチを縮小するとウェーハ輸送コストが軽減される。
• FOBITは、処理済および未処理の両方のウェーハの工場間輸送に使用される。
• ボックスの容量はウェーハ25枚です。
• エッジグリップハンドリングデバイスを使用したウェーハへのランダムアクセスは，本基準の要求事項ではありません。
• FOBITは、次の300mmのスタンダードと互換性があります。
• 13枚ウェーハのFIMSインターフェース（ SEMI E62 ）
• 300mmロードポート（ SEMI E15.1 ）
• キネマティックカプリング（ SEMI E57 ）
• FOBITは、輸送中のウェーハの保留条件および製品のアプリケーションにより、次の300 mm基準には必要ありません。
• 300mm前面開口ユニファイドポッド（ FOUP ）（ SEMI E47.1 ）
• 300mmオープンカセット（ SEMI E1.9 ）
• 300mm前面開口シッピングボックス（ FOSB ） （ SEMI M31 ）
• 本標準の技術的要求事項は、SEMI M1.15で規定される公称厚さのウェーハの輸送について記述された。

この狭ピッチの容量25枚のFOBIT は、SEMI E62で規定されている13枚ウェーハのFIMSインタフェースで使用されるように設計される。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様
SEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械仕様
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン

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