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SEMI E102 - CIM フレームワークの材料輸送および保管コンポーネントの暫定仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この暫定仕様は、世界的な情報管理委員会によって技術的に承認されました。この版は、2006 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2006 年 6 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2000 年 6 月に出版されました。
この規格の目的は、これらのインターフェイスと、MES システムと AMHS システム間の相互作用を CIM フレームワークの一部として指定することです。 AMHS という用語は一般に、自動資材処理をサポートする幅広い機器やシステムを指すのに使用されますが、CIM フレームワークでは、MES の標準インターフェイスを表す「資材輸送および保管コンポーネント (MTSC)」と呼ばれるソフトウェア コンポーネントを指定しています。 AMHS 機能の完全なスイート。
参照されるSEMI規格SEMI E81 — CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
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