SEMI E15 - ツールロードポートの仕様 -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この規格は、次のインターフェースを統一することを目的としています。 プロセス/検査ツールと自動ウェーハキャリア搬送システム 人間の輸送との互換性を維持します。

この仕様は機械的インターフェースを扱います (ロードポート) ウェーハキャリア材料搬送間のウェーハキャリア搬送用 人間を含むシステムとウェーハ製造・検査装置（ツール）。 この概念は、ツール上のウェーハ キャリアの配置と方向を定義します。 機械化された物質移動システムとの合理的なインターフェースを可能にする 物質交換機能を実行するための人間のアクセスを損なうことなく。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E1 — オープンプラスチックおよび金属ウェーハの仕様 キャリア

SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)

改訂履歴

SEMI E15-0698E2 (再承認 1016)

SEMI E15-0698E2 (再承認 0310)

SEMI E15-0698E2 (再承認 0703)

SEMI E15-0698E (再承認 0703)

SEMI E15-0698E (編集改訂版)

SEMI E15-0698 (技術改訂)

SEMI E15-96 (技術改訂)

SEMI E15-95 (技術改訂)

SEMI E15-90 (初公開)

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