SEMI E54.15 - SafetyBUS p用センサー／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様 -

Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2007年9 月5日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2007年11月にCD -ROMで入手可能となりました。 初版は2005年2月発行、前版は2006年7月に発行されました。

注意： 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。

本標準は、半導体製造装置におけるSEMI指定の（共通およびデバイス固有の）デバイス・モデルに動作するセンサー／アクチュエータ・ネットワーク（ SAN ）上のインテリジェント・デバイス間の通信を可能にするSafetuBUS pプロトコルを基本とするとした通信仕様を定義する。

背景と動機

SafetyBUS pは、産業デバイス（センサーやアクチュエータなど）とコントローラーなどのより高いレベルのデバイス（プログラマブルな制御システムなど）との間で単純かつ低コストで早くて決定的なデータ交換手段を提供しながら、信頼性のある動作をサポートする高い優先レベルでの情報の通信を提供するデバイス・レベル・ネットワークである。

• 低レベル・デバイスのネットワーク化に対するソリューション
• 低レベル・デバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス
• より高いレベルのアーケードとのネットワーク化
• マスター／スレーブおよびピアツーピア通信機能
• デバイスに必須の情報のシリアル通信

SafetyBUS pは，通信モデルおよびプロトコルを定める。物理層およびデータ・リンク層の定義はストレージ・エリア・ネットワーク（ CAN ）技術によって定義され、CAN仕様はメディアアクセス制御（ MAC ）方法論と物理的な信号伝達特性を提供する。

本書は、共通および特定デバイス・ネットワークの目に見える構造や挙動のSafetyBUS pネットワークに対する優先を提供してSEMIに従うSAN上にあるインテリジェント・デバイス間の通信を可能にする。

本SafetyBUS p用ネットワーク通信標準仕様は，SafetyBUS p技術の使用に対する安全ガイドラインを意図するものではない。本SANはSEMI E54.1に準拠して構成されています。

本書は、準拠するインテリジェント・デバイスがSafetyBUS p半導体装置センサー／アクチュエータ・ネットワーク上で情報を交換するためにサポートしなければいけないプロトコルおよびサービスを決定します。

本書はSafetyBUS pプロトコルの使用を定めてSafetyBUS pネットワーク上の共通デバイス・モデル（ CDM ）や適切な特定デバイス・モデル（ SDM ）にて定められた外部から目に見えるデバイスの構造や挙動を示す。

本書は、SEMI標準SAN共通デバイス・モデル仕様、およびSEMI標準特定デバイス・モデル（ SDM ）仕様（例マスフロー・デバイス）、およびSafetyBUS pオブジェクト通信仕様を参照ガイドにされて使用される。 ， SafetyBUS pプロトコルやSEMI準拠のSANシステム内でSafetyBUS pネットワーク化機能を使用するデバイスの外部から見えるデータ構造と挙動を定める。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス (OSS)
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワーク規格
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In-Situ粒子モニターデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスのセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.18 — 真空ポンプデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様

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