SEMI E64 - SEMI E15.1ドッキングインターフェースポートと300mmカートの仕様 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年5月にwww. semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2005年11月発行。

注意:この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本仕様は、キャリア搬送カートとのドッキングインターフェースの設置に使用するSEMI E15.1準拠装置の標準位置および要件を定義する。機器上のインターフェースの一貫した位置決めを簡単にできること。

本標準は300 mm SEMI E15.1適合ツールに限り適用される。他のツールに対する類似の要件はここでは規定していない。

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様

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