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SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能基本: 概念，動作，サービス -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
/
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は、Global Information and Control Committee において技術的に承認されたものであり、Japan Information and Control Committee が直接責任を負うものである。 承認されている。 2002年10月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、 2002年11月発行に至る。
E本スタンダードは2005 年2月に図R2-1に対する編集上の修正が加えられました。
注意： SEMI E118 は2004年11月にサブドキュメントSEMI E118.1 が改訂されたため改訂年月に更新されました。
ウェーハIDリーダの機能標準の目的は、概念、動作、ウェーハIDリーダによって上位のコントローラに提供されるサービス(機能)について共通の仕様を提供することである。
標準のインタフェースにより，ユーザー及びデバイスサプライヤが多くの選択肢を手に入れるように，ウェーハIDリーダの相互交換性を向上させます。
ウェーハIDリーダの機能標準は，ウェーハIDリーダと上位のコントローラーに含まれるインターフェースに対する機能要求条件を扱います。
本仕様には，ウェーハIDリーダに必要な動作と必要な通信機能が含まれます。
この仕様では，ウェーハIDリーダによって送信される非同期メッセージは要件であっても，定義することも禁止することもしない。
本仕様は、SEMIによって規定されており、ウェーハの搬入、搬出がキャリアユニットによってされる装置内でアクセスされるウェーハIDを読み出すことを目的としています。
下位標準:
SEMI E118.1-1104 - ウェーハIDリーダ通信インタフェース標準のSECS-I ，SECS-IIプロトコル仕様
参照されるSEMI規格SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I) SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II) SEMI E15 — ツールロードポートの仕様 SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの暫定機械仕様 SEMI E62 — 300 mm 前開きインターフェース機械規格 (FIMS) の暫定仕様 SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様 SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様 SEMI E99 — キャリア ID リーダー/ライター機能標準: 概念、動作、およびサービスの仕様 SEMI E101 — EFEM 機能構造モデルの暫定ガイド SEMI T7 — 二次元マトリックスコードシンボルを使用した両面研磨ウェーハの裏面マーキングの仕様
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