SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関する基準（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス -

本仕様は、Information & Control Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので、North American Information & Control Committeeが直接責任を負うものである。現版は2000年10月19日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認された。2001年1月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2001年3月発行に続く。初版は、1997年6月発行。

注意： SEMI E58は2003年7月にサブドキュメントSEMI E58.1が再承認されたため改訂年月に更新されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書ではSEMI E10に従った装置レベルでSEMI E10の状態の変化を実践および収集するための基準が提供されている。

SEMI E10ではさまざまな用語および装置状態が定義されているが、特に自動化された装置によるアプリケーションのために書かれているわけではない。に一貫して解釈を考えることである。

ARAMSでは半導体工場内の自動化されたシステムの統合をサポートするためのコンセプト、挙動、およびメッセージサービスを定義する。

背景および動機

一貫した状態モデルを応用して装置でSEMI E10データ収集を自動的に行うことによって装置供給ヤと装置ユーザーの双方が利益を得る。

SEMI E10では特定の状態を定義するが，状態途中の移行は扱っていない。ARAMS標準は自動化された装置によって行われる状態遷移のトリガーも規定する。自動化された装置によって下された決定にだけ適用される。

この標準は以下の関係に適用される。従来のホスト／装置、オペレータ／装置、およびクラスタツールプロトコル／付属モジュール。本書の範囲は、装置レベルでのSEMI E10関連データの直感および通信を簡単に特に、本書は下記のことを提供することである。

• 装置状態変更のための規則を定義する装置状態モデル
• SEMI E10で定義されている6つの基本的な装置状態以下の状態を表すための標準装置コード
• 装置が生成するデータの定義
• 情報を交換するために必要なコンセプトおよびメッセージ
• ARAMSに準拠するための基本的な要求事項
• オプションの追加性能要件

この基準はSEMI E10の直感として、装置がSEMI E10をサポートするために使われることを目的とする。いる。

下位標準:

SEMI E58.1-0697 (再承認 0703) - 自動化による信頼性、有用性、および整備性に関する標準（ARAMS ）：概念、挙動、およびサービスのための SECS- Ⅱプロトコル

SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) の定義と測定に関する規格
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E38 — クラスターツールモジュール通信 (CTMC)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格
SEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E53 — イベントレポート