SEMI E15.1 - 300 mm装置ロードポートのための仕様 -

Abstract

本基準は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee で技術的に承認されています。現版は2010年8月27日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認されました。 semi.orgで入手可能となる。初版は1996年に発行、前版は2005年3月に発行された。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この仕様が規定しているのは、300 mmウェーハ処理および検査装置のロードポートに関する寸法上の要求事項である。すること，自動ウェーハキャリア搬送システムを使いやすくすること，人が積む装置のための人間工学上の要求事項を満たすこと，である。

本標準は、300mm装置のみを扱っている。 200mm以下のウェーハ用の装置を同様の要求事項は、 SEMI E15 で扱っている。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

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