SEMI E110 - 300 mm ロード ポートのロード ポート操作インターフェイスのインジケータ配置ゾーンとスイッチ配置ボリュームのガイドライン -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

このガイドラインは、ロード ポート ステータス インジケータおよびロード ポート操作スイッチを配置するゾーンとボリュームを定義します。このガイドラインの目的は、300 mm ロード ポート上での配置の類似性を示すことです。このガイドラインでは、それらのゾーンとボリュームのみを定義しており、これらのゾーンおよびボリューム内のそれらの正確な配置は、ロード ポートのサプライヤーの指示によって決定されます。

ゾーンまたはボリュームは、ロード ポート設計の標準化の改善と、デバイス メーカー間でのロード ポートの動作の適切な統一によって、より正確に定義できます。このガイドラインは、この取り組みを経て仕様として改善される可能性があります。

このガイドラインでは、300 mm ロードポートの推奨仕様を次のように定義します。

• ロード ポート ステータス インジケータを配置するインジケータ配置ゾーン。

• ロード ポート操作スイッチを配置するスイッチ配置ボリューム。

このガイドラインは、固定バッファ装置と内部バッファ装置の両方の仕様を対象としています。

このガイドラインは、すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。ロード ポートの物理インターフェイスのみが指定されます。この仕様書には、材料要件、微小汚染の制限、定義された物理的特徴の使用またはそれに関連するロジックは記載されていません。

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様

SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様

SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様

SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様

SEMI E101 — EFEM 機能構造モデルのガイド

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