SEMI E32 - 物質移動管理 (MMM) -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。 1997 年 9 月に www.semi.org で入手可能。初版は1994年に出版されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

自動化された材料移動は、半導体製造における自動化の進化における重要なマイルストーンを表します。搬送プロセスの標準化は、材料移動の自動化を経済的に実現するために非常に重要です。この規格は、物質の移動に関する半導体製造施設の通信ニーズに対応します。

この規格は、半導体工場の現場での材料の自動移動、つまり物体 (材料など) をある処理または保管場所から別の場所に輸送するタスクに対処します。これは、物質の移動の概念、物質の移動に関連する機器 (転送デバイスを含む) の動作、およびタスクを達成するために必要なメッセージング サービスを定義します。

下位標準:

SEMI E32.1-0997 - 物質移動の SECS-II サポート

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデルの仕様 (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス

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