SEMI E81 - CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様 -

Abstract

この規格は、世界的な情報管理委員会によって技術的に承認されました。この版は、2006 年 11 月 21 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2007 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1999 年 6 月に発行されました。以前は 2000 年 6 月に出版されました。

この文書は、半導体工場で使用されるコンピューター統合製造 (CIM) システムのアプリケーション フレームワークを表す一連の文書の構造と内容の概要を示しています。フレームワークは、アプリケーションを統合し、特定のドメイン内で情報を共有するための共通環境を作成するソフトウェア インフラストラクチャです。このフレームワークの目的は、複雑な製造システムの業界標準アーキテクチャを確立し、オープンなマルチサプライヤー CIM システム環境を実現することです。この仕様で説明されるフレームワークは CIM フレームワークと呼ばれます。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) の定義と測定に関する規格
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E32 — マテリアル移動管理 (MMM)、SEMI E42 -- レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI E86 — CIMフレームワーク工場労働コンポーネントの暫定仕様
SEMI E93 — CIM フレームワークの高度なプロセス制御コンポーネントの暫定仕様
SEMI E96 — CIM フレームワーク技術アーキテクチャのガイド
SEMI E97 — CIM フレームワークのグローバル宣言と抽象インターフェイスの暫定仕様
SEMI E102 — CIMフレームワークの材料輸送および保管コンポーネントの暫定仕様

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