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SEMI E48 - SMIF インデクサーのボリューム要件の仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
この仕様の目的は、ボリュームを提供することです。 単一のツールで SMIF をツールに統合できるようにするツール内で必要です。 または複数のポート。
この仕様は、システム内に必要なスペースを定義します。 インターフェース面に対するツール。この仕様は SEMI E19 を参照しています。 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
改訂履歴
SEMI E48-1101 (再承認 1107)
SEMI E48-1101 (技術改訂)
SEMI E48-0701 (技術改訂)
SEMI E48-95 (再承認0600)
SEMI E48-95 (初公開)
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