SEMI E1.9 - 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様 -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。非活性 規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き有効です 使用するために。

この規格は、輸送および輸送に使用されるカセットを指定します。 IC 製造施設に 300 mm ウェーハを保管します。これには両方のマニュアルが含まれます 自動搬送用途やウェーハの高速取り出しに最適です。 加工装置。

この基準は、適切なレベルを設定することを目的としています。 イノベーションを最小限に抑えながらも、 すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性。ほとんど この仕様に記載されている要件は、最大値または最小値の形式です。 必要な表面がほとんどない寸法。メカニカルインターフェースのみ カセットは指定されています。材料要件や微小汚染はありません 制限が与えられます。ただし、この規格は、両方の金属が 射出成形プラスチックカセットは、以下に準拠して製造できます。 それ。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェースの仕様 (SMIF)

SEMI E57 — キネマティックカップリングの仕様 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポート

改訂履歴

SEMI E1.9-1106E (再承認 0512)

SEMI E1.9-1106E (編集改訂版)

SEMI E1.9-1106 (技術改訂)

SEMI E1.9-0706 (技術改訂)

SEMI E1.9-0704E2 (編集改訂版)

SEMI E1.9-0701E (編集改訂版)

SEMI E1.9-0701 (技術改訂)

SEMI E1.9-0699 (技術改訂)

SEMI E1.9-0299 (技術改訂)

SEMI E1.9-0997 (技術改訂)

SEMI E1.9-0697 (技術改訂)

SEMI E1.9-1296 (技術改訂)

SEMI E1.9-94 (初公開)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.