SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブと共に使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 -

Abstract

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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、世界液体化学品流通システム委員会で技術的に承認されている。現版は2001年8月3日、日本地域規格委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2001年11月発行となります。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書は、半導体およびフラット・パネル・ディスプレイ製造用の薬液供給設備およびプロセス装置において、メトリック系PFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースと、そのボルト取付穴の位置と寸法を規定する。

開発を無視せず、ダイアフラムバルブの互換性を促進するように、本書の範囲を2章に規定されるように制限します。

本書は、表1に記載されたサイズのチューブ中の薬液の流れを遮断および/または制御するために作られたダイアフラムを有する2ポートバルブの取付ベースに適用される。

これらのバルブは、 PTFE 、PFA等の耐食性が高い流体汚染性の低い素材から構成されています。

なし。

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