SEMI E62 - 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様 -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

この規格はインターフェースのツール側を指定します プロセスまたは計測ツールと前開きボックスの間。

この基準は、適切なレベルを設定することを目的としています。 イノベーションを最小限に抑えながらも、 すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性。だけ 物理インターフェイスが指定されています。材料要件がない、または 微小汚染の限界が与えられています。この規格で規定されているインターフェース 密閉されたミニ環境の場合もありますが、単に明確に定義された環境の場合もあります。 自動化インターフェース。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E1.9 — 使用されるカセットの機械的仕様 300 mm ウェーハの輸送と保管

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)

SEMI E47.1 — ボックスおよびポッドの機械仕様 300 mm ウェーハの輸送と保管に使用

SEMI E57 — キネマティックカップリングの機械的仕様 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用

SEMI M31 — フロントオープニングの機械仕様 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される輸送ボックス

改訂履歴

SEMI E62-1106 (再承認 0512)

SEMI E62-1106 (技術改訂)

SEMI E62-0306 (技術改訂)

SEMI E62-1105 (技術改訂)

SEMI E62-0705 (技術改訂)

SEMI E62-0703E2 (編集改訂版)

SEMI E62-0703E (編集改訂版)

SEMI E62-0703 (技術改訂)

SEMI E62-0302AE (編集改訂版)

SEMI E62-0302A (編集改訂版)

SEMI E62-0302 (技術改訂)

SEMI E62-1101 (技術改訂)

SEMI E62-0701 (技術改訂)

SEMI E62-0301 (技術改訂)

SEMI E62-0999 (技術改訂)

SEMI E62-0299 (技術改訂)

SEMI E62-0698 (技術改訂)

SEMI E62-0298 (技術改訂)

SEMI E62-0997 (初公開)

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