SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド -

Abstract

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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Environment, Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されています。現版は2012年6月18日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認されました。2012年7月にwww .semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書は、製造装置(ME )から排出されるフッ素系温室効果ガス(F-GHG )の特性を評価するためのガイダンスを提供する。

本書は、抑制ツールのF -GHG破壊除去効率(DRE )の特性を評価するためのガイダンスを提供する。

本書では、MEまたは抑制ツールの排出量削減に関する継続的な改善計画についても取り組んでいます。

本ガイドが適用される温室効果ガス(GHG)は，CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8, CHF3, SF6, NF3である。

このガイドは、 MEからのF-GHG排出特性評価に適用される。

このガイドは、抑制ツールからのF-GHG排出特性評価に適用される。

このガイドは，MEにおける化学反応によるF-GHGの消費，残留，副生成物，組み換えについての特性評価に適用される。

本ガイドは、抑制ツールのF-GHGの仕様に適用される。

このガイドは、最小限半導体、 TFT-LCD 、太陽電池の各業界で置くことが推奨される。

このガイドには，以下の章が含まれます。

• 目的
• 範囲
• 制限
• 参照基準および文書
• ─
• 一般条項
• ベースラインレシピ
• 測定機器
• F-GHG排出の測定と特性評価
• F-GHG 排出特性評価の時期と頻度
• 報告書
• 特性評価したデータの記録管理
• ロードマップと継続的な改善

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド

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