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SEMI E34 - マスフローデバイスの取り外しおよび輸送に関する安全ガイドライン -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインは無効になっています 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
この安全ガイドラインには、危険を軽減するための手順が記載されています。 マスフローデバイスの取り外し、輸送、受け取りに関連するリスク。 危険物質にさらされたことがある。
この安全ガイドラインは次のことを目的としています。
• 危険な物質と一緒に使用されているデバイスのパージを奨励します。 化学的損傷や機器のリスクを軽減するために、材料を除去する前に 取り扱い中に損傷を受ける可能性があります。
• 適切に識別するためのプロセスを確立し、 オレンジ色のタグと健康状態を使用して、このような質量流量デバイスを文書化します。 安全性開示フォーム。
• このような大量のメッセージの受信者に警告する手段を確立する 危険な場所への流動装置。
この安全ガイドラインは、次のような質量流量装置に適用されます。 危険物質にさらされたことがある。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI E34-1110 (技術改訂)
SEMI E34-95 (初公開)
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