SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

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F05800 - SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析計(APIMS)による表面実装および一般的なガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のための試験方法
F01200 - SEMI F12 - フッ素樹脂製のための熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法
F08900 - SEMI F89 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズマスフロースレッド/マスフローメータの寸法のための仕様
F09100 - SEMI F91 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F10300 - SEMI F103 - ステンレススチール製液体原料容器(キャニスター)の形状の仕様
F08600 - SEMI F86 - 1.125タイプ4ファスナー構造サーフェスマウントインチインチガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08700 - SEMI F87 - 1.125タイプ4ファスナー構造サーフェスマウントインチインチガス供給システム用3ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
S00400 - SEMI S4 - キャビネット内のガスシリンダーの分離/分離に関する安全ガイドライン
F09900 - SEMI F99 - メートル法 PFA チューブ用ダイヤフラム バルブの寸法仕様
F09000 - SEMI F90 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズ2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08400 - SEMI F84 - 1.125 インチ タイプ 2 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用の 3 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法仕様
E08100 - SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様
SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定標準
SEMI E98 - オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定標準 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F08500 - SEMI F85 - 1.125 インチ タイプ 4 ファスナー構成の 1 ポート コンポーネントの寸法仕様 表面実装ガス分配システム
F08300 - SEMI F83 - 1.125タイプ2ファスナー構造サーフェスマウントインチインチガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F02700 - SEMI F27 - 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) によるガス分配システムおよびコンポーネントの水分相互作用および含有量の試験方法
F03300 - SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計(APIMS)の確認のためのテスト方法
F10800 - SEMI F108 - 半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池製造アプリケーション向けの液体化学配管コンポーネントの統合に関するガイド
F09100 - SEMI F91 - 1.5 インチ タイプ 2 ファスナー構成表面実装ガス分配システム用のコンパクト サイズ 2 ポート コンポーネント (MFC/MFM を除く) の寸法の仕様
E08900 - SEMI E89 - 測定システム分析(MSA)のガイド
SEMI E89 - 測定システム分析(MSA)のガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル(OBEM)暫定基準
SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル(OBEM)暫定基準 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F09300 - SEMI F93 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様
E09700 - SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インターフェースに関する暫定仕様
E08600 - SEMI E86 - CIM フレームワーク工場労働コンポーネントの暫定仕様
SEMI E86 - CIM フレームワーク工場労働コンポーネントの暫定仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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