SEMI S4 - キャビネット内のガスシリンダーの分離/分離に関する安全ガイドライン -

Abstract

注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。

 

この安全ガイドラインでは、 どのタイプの化学薬品のシリンダーを別のガスキャビネットに入れる必要があるか、 どのシリンダーが互いにガスキャビネット内に存在してもよいか。

 

この安全ガイドラインは、次のような方の使用を対象としています。 半導体関連技術で働いているか研究していること。

この安全ガイドラインでは、次のような化学物質について言及しています。 シリンダー内に収容され、気体の形で使用される気体および液体 蒸気圧のため、または蒸気として輸送される可能性があるため キャリアガスによる。

 

また、以下のすべてのタイプのシリンダーにも適用されます。 内容積は1000リットル。

 

この安全ガイドラインの主な目的は次のとおりです。 研究および製造で使用中または分配されているシリンダーガス プロセス。

 

この安全ガイドラインは、供給されるパージガスを扱います。 シリンダーであり、プロセス化学ラインのパージに使用されます。

 

この安全ガイドラインは、プロセス化学物質を対象としています。 101.3 kPa 未満の圧力でそれらを提供するように設計されたシリンダー （1つの雰囲気）。

参照SEMI規格（別途購入） 

なし。

改訂履歴

SEMI S4-0304 (完全な書き換え)

SEMI S4-92 (初公開)

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