SEMI E98 - オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定標準 -

Abstract

オブジェクトベースの機器モデルの目的には次のものが含まれます。

• マルチプロセス機器やその他の複雑な機器とのインターフェースのための標準モデルを定義します。

• 標準の機器コンポーネントを定義して、コミュニケーションでコンポーネント関連の問題を「話し合う」ことができるようにします。

• OBEM 準拠の機器をマシン オブジェクトに接続することで、SEMI E81 CIM フレームワーク システムと簡単に統合できる機器モデルを提供します。

オブジェクトベース機器モデル (OBEM) 標準の目的は、工場との通信を通じて確認される、機器を構成する一般的なタイプの物理オブジェクトおよび論理オブジェクト (機器を含む) の定義、サービス、および動作を提供することです。自体。標準化されたオブジェクトの定義により、機器がその構成を工場に説明できるようになり、工場に機器の可視性が提供されます。

これは、半導体工場内の生産装置の統合をサポートするための概念、動作、サービスを定義する暫定規格です。この規格の範囲には、工場のホスト システムへのインターフェイスを提供するすべての半導体製造装置が含まれます。一部のサービスは、一部のマテリアルハンドリングシステムには適用できない場合があります。

OBEM の暫定ステータスを解除するには、完了する必要があるセクションは次のとおりです。

1. § 11.2 — アクセス管理

2. § 14 — OBEM 準拠

将来的には、SECS-II、CORBA IDL、DCOM などのさまざまなプロトコルへの OBEM マッピングを指定するための詳細標準も追加される予定です。

下位標準:

SEMI E98.1-1102 (再承認0309) - オブジェクトベース機器モデル用のSECS-IIプロトコルの暫定仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) の定義と測定に関する規格
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの暫定仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格
SEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E53 — イベントレポート
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワーク規格
SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI E81 — CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様

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