SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計（APIMS）の確認のためのテスト方法 -

Abstract

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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年5月13日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2008年6月にwww.semi.orgで。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

このテスト方法は，窒素，アルゴン，ヘリウムおよび水素に含まれる不純物を測定するためのAPIMSの評価正に関するガイドラインを提供する。その理由は、APIMSは、本質的にppt不純物分析を唯一商業的に利用可能な方法であり、優れた応答時間を実現することができるためこの方法は，この時点では商業的に利用可能ではないかもしれない，APIMSと同様の検出限界と応答時間を備えたその他の技術を適用するためのガイドラインを提供する場合もある。

この方法は、100 pptの目標不純物範囲から200 ppb 不純物範囲と同程度までのAPIMSの検体照合正に適用される。その他のいずれも正当の範囲外である。

SEMI C9.1 — 重量分析により調製されたガス混合物における不確実性の分析のためのガイド
SEMI C15 — ppm および ppb 湿度標準の試験方法

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