SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定基準 -

Abstract

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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

注意： SEMI E98は、 SEMI E98.1の改訂を反映して、 0309の出版サイクルで更新されました。

オブジェクトベース装置モデル（ OBEM ）の目的は、次の事項を含む：

• 多重プロセス装置および他の複合装置へのインタフェースについての標準モデルを定義する

• 通信がコンポーネントに関する事項を「検討」できるように、標準装置を定義する。

• 装置モデルが，OBEM適合装置を機械オブジェクトに接続することにより，SEMI E81 CIM構成システムに簡単に統合できるように対応します。

オブジェクトベース装置モデル（ OBEM ）標準の目的は、装置自体を含み、通常、装置を構成する物理的および論理的オブジェクトの共通に見られるタイプの定義、サービス、および挙動を、ファクトリとの通信の際標準化されたオブジェクトの定義を使って装置はその構成を工場側に対して開示できる，工場側は装置の内部が見えるようになる。

本規定は暫定基準であり、半導体工場内の製造装置の統合を実現するための概念、挙動、およびサービスを定義するものである。製造装置，すべてが含まれる。サービスによっては材料搬送系に適用できない場合もある。

OBEM仕様を暫定版でなくするためには、以下の項目を完了しなければなりません。

1. § 11.2 —アクセス管理

2. § 14 — OBEMへの準拠

詳細な標準も将来追加する予定で、SECS-II 、CORBA IDLおよびDCOMのような異なる製品に対してOBEM検討を規定する。

下位標準:

SEMI E98.1-1102 (再承認0309) - オブジェクト基盤装置モデルのためのSECS-IIプロトコル用暫定仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) の定義と測定に関する規格
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの暫定仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格
SEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E53 — イベントレポート
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワーク規格
SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI E81 — CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様

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