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SEMI F14 - ガス源機器エンクロージャの設計ガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は世界的な施設委員会によって技術的に再承認されており、北米施設委員会が直接責任を負っています。最新版は、1998 年 12 月 18 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 1999 年 2 月に www.semi.org で入手可能でした。 1999 年 6 月に出版予定。初版は 1993 年に出版されました。
§§ 3.1.1、6.2.1、および 6.2.2 に編集上の変更が加えられました。
この文書は、ガス源機器のエンクロージャの設計上の考慮事項をまとめたものです。メーカーおよび購入者による使用を目的としています。
ここでは、ガス源機器の筐体に関する設計上の考慮事項について説明します。特定のガス、シリンダー、または特殊な用途 (プロセス装置など) に対応するために必要な改造には対応していません。
参照されるSEMI規格SEMI S4 — キャビネット内のガスシリンダーの分離/分離に関する安全ガイドライン
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