SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E03000 - SEMI E30 - 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E30 - 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양 정상 가격₩423,000 KRW 할인 가격₩240,000 KRW부터
E03001 - SEMI E30.1 - ISEM(특정 장비 모델) 검사 및 검토 사양
SEMI E30.1 - ISEM(특정 장비 모델) 검사 및 검토 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E03005 - SEMI E30.5 - 계측 특정 장비 모델(MSEM) 사양
SEMI E30.5 - 계측 특정 장비 모델(MSEM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E03200 - SEMI E32 - 자재 이동 관리(MMM)
SEMI E32 - 자재 이동 관리(MMM) 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E03300 - SEMI E33 - 반도체 제조 장비 전자파 적합성(EMC) 가이드
SEMI E33 - 반도체 제조 장비 전자파 적합성(EMC) 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E03400 - SEMI E34 - 질량 흐름 장치 제거 및 배송에 대한 안전 지침
SEMI E34 - 질량 흐름 장치 제거 및 배송에 대한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E03500 - SEMI E35 - 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드
SEMI E35 - 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E03600 - SEMI E36 - 반도체 장비 제조 정보 태깅 사양
SEMI E36 - 반도체 장비 제조 정보 태깅 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E03700 - SEMI E37 - 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스 사양
E03900 - SEMI E39 - 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E39 - 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E04000 - SEMI E40 - 처리 관리 사양
SEMI E40 - 처리 관리 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E04100 - SEMI E41 - 예외 관리(EM) 표준
SEMI E41 - 예외 관리(EM) 표준 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E04200 - SEMI E42 - 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E42 - 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E04300 - SEMI E43 - 물체 및 표면에 대한 정전기 측정 가이드
SEMI E43 - 물체 및 표면에 대한 정전기 측정 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E04400 - SEMI E44 - Minienvironments의 조달 및 수락을 위한 가이드
SEMI E44 - Minienvironments의 조달 및 수락을 위한 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
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