SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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Artificial Intelligence (AI) Use Prohibited: You may not use the SEMI Standards, or any portion thereof, as input to any artificial intelligence or machine learning system, or for the purpose of training, testing, or improving any AI model. You also may not use AI to create derivative works, adaptations, or other materials derived from or substantially based on SEMI Standards, including but not limited to annotations, outlines, training materials, reference guides, or transformed versions, in any form or for any purpose. Any violation of this policy constitutes a breach and will result in suspended access to SEMI Standards.

E02100 - SEMI E21 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 이송
E02200 - SEMI E22 - 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 전송 모듈 엔드 이펙터 제외 볼륨
E02300 - SEMI E23 - 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E23 - 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E02400 - SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard
SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E02600 - SEMI E26 - 방사형 클러스터 도구 풋프린트 표준
SEMI E26 - 방사형 클러스터 도구 풋프린트 표준 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E02700 - SEMI E27 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 선형성 가이드
SEMI E27 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 선형성 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E02800 - SEMI E28 - 질량 유량 컨트롤러의 압력 사양 가이드
SEMI E28 - 질량 유량 컨트롤러의 압력 사양 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E02900 - SEMI E29 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 교정용 용어
SEMI E29 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 교정용 용어 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E03000 - SEMI E30 - 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
E03001 - SEMI E30.1 - ISEM(특정 장비 모델) 검사 및 검토 사양
SEMI E30.1 - ISEM(특정 장비 모델) 검사 및 검토 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E03005 - SEMI E30.5 - 계측 특정 장비 모델(MSEM) 사양
SEMI E30.5 - 계측 특정 장비 모델(MSEM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E03200 - SEMI E32 - 자재 이동 관리(MMM)
SEMI E32 - 자재 이동 관리(MMM) 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E03300 - SEMI E33 - 반도체 제조 장비 전자파 적합성(EMC) 가이드
SEMI E33 - 반도체 제조 장비 전자파 적합성(EMC) 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E03400 - SEMI E34 - 질량 흐름 장치 제거 및 배송에 대한 안전 지침
SEMI E34 - 질량 흐름 장치 제거 및 배송에 대한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E03500 - SEMI E35 - 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드
SEMI E35 - 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
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