SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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E03600 - SEMI E36 - 반도체 장비 제조 정보 태깅 사양
SEMI E36 - 반도체 장비 제조 정보 태깅 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E03700 - SEMI E37 - 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스 사양
SEMI E37 - 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스 사양 할인 가격Member Price: ₩225
Non-Member Price: ₩570,000
E03800 - SEMI E38 - 클러스터 도구 모듈 통신(CTMC)
SEMI E38 - 클러스터 도구 모듈 통신(CTMC) 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E03900 - SEMI E39 - 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E39 - 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E04000 - SEMI E40 - 처리 관리 사양
SEMI E40 - 처리 관리 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E04100 - SEMI E41 - 예외 관리(EM) 표준
SEMI E41 - 예외 관리(EM) 표준 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E04200 - SEMI E42 - 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E42 - 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E04300 - SEMI E43 - 물체 및 표면에 대한 정전기 측정 가이드
SEMI E43 - 물체 및 표면에 대한 정전기 측정 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E04400 - SEMI E44 - Minienvironments의 조달 및 수락을 위한 가이드
SEMI E44 - Minienvironments의 조달 및 수락을 위한 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E04500 - SEMI E45 - VPD-TXRF, VPD-AAS 또는 VPD/ICP-MS를 사용하여 미니 환경에서 무기 오염을 측정하기 위한 테스트 방법
E04600 - SEMI E46 - IMS(Ion Mobility Spectrometry)를 사용하여 미니 환경에서 유기 오염을 측정하기 위한 테스트 방법
E04700 - SEMI E47 - 150mm/200mm 포드 핸들 사양
SEMI E47 - 150mm/200mm 포드 핸들 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E04701 - SEMI E47.1 - 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E47.1 - 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E04800 - SEMI E48 - SMIF 인덱서 볼륨 요구 사항 사양
SEMI E48 - SMIF 인덱서 볼륨 요구 사항 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
E04900 - SEMI E49 - 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리에 대한 가이드
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