SEMI E48 - SMIF 인덱서 볼륨 요구 사항 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양의 목적은 단일 또는 다중 포트가 있는 도구에 SMIF를 통합할 수 있는 도구에 필요한 볼륨을 제공하는 것입니다.

이 사양은 인터페이스 평면과 관련하여 도구 내에 필요한 공간을 정의합니다. 사양은 SEMI E19, 표준 기계 인터페이스(SMIF)를 참조합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)

개정 내역

SEMI E48-1101(1107 재승인)

SEMI E48-1101(기술 개정)

SEMI E48-0701(기술 개정)

SEMI E48-95(0600 재승인)

SEMI E48-95(최초 발행)

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