SEMI E43 - 물체 및 표면에 대한 정전기 측정 가이드 -

개정: SEMI E43-0813(1019 재승인) - 현재

개정

Abstract

그 목적은 아래에 명시된 범위 및 제한 사항에 따라 모든 표면 또는 물체에서 재현 가능한 정전기 측정에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

 

본 명세서에 기술된 측정 방법은 반도체 제조 환경에서 물체 및 표면에 대한 일반적인 정전기 전하, 전압, 필드 레벨(들) 및 정전기 방전(ESD)을 특성화하기 위해 적용될 수 있다. 허용되는 장비, 교정 및 측정 기술은 이 문서에 설명되어 있습니다. 부록에는 지정된 장비 및 교정 절차에 대한 배경 정보와 유용한 일반 정전기 조사 수행에 대한 정보 및 조언이 포함되어 있습니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E33 - 반도체 제조 장비 전자파 적합성(EMC) 가이드

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Customer Reviews

Be the first to write a review
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)

You May also Like