SEMI E47.1 - 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 표준은 IC 제조 시설에서 300mm 웨이퍼를 운송하고 저장하는 데 사용되는 FOUP를 부분적으로 지정합니다.

이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 이 사양에 주어진 대부분의 요구 사항은 최대 또는 최소의 형식입니다. 필요한 표면이 거의 없는 치수. 물리적 인터페이스만(기타 FOUP에 대한 도어 메커니즘 및 운동학적 커플링보다)가 지정됩니다. 아니요 재료 요구 사항 또는 미세 오염 제한이 제공됩니다. 인클로저 이 표준에 명시된 것은 밀폐된 미니 환경일 수 있지만 인터페이스가 잘 정의된 상자일 뿐입니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)

SEMI E47 — 150mm/200mm 포드 핸들 사양

SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양

SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양

SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인

개정 내역

SEMI E47.1-1106(재승인 0512)

SEMI E47.1-1106(기술 개정)

SEMI E47.1-0706(기술 개정)

SEMI E47.1-0306(기술 개정)

SEMI E47.1-0305(기술 개정)

SEMI E47.1-1104(기술 개정)

SEMI E47.1-0704(기술 개정)

SEMI E47.1-0304(기술 개정)

SEMI E47.1-0303(기술 개정)

SEMI E47.1-1101(기술 개정)

SEMI E47.1-0701(기술 개정)

SEMI E47.1-0301(기술 개정)

SEMI E47.1-0200(기술 개정판)

SEMI E47.1-0999(기술 개정)

SEMI E47.1-0699(기술 개정)

SEMI E47.1-0298(기술 개정)

SEMI E47.1-0697(최초 발행)

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